彈性壓力傳感器作為傳感器界中的重要組成部分，具有機(jī)械與電氣性能優(yōu)異、靈活性高、靈敏度高、分辨率高以及響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，其類型多樣，應(yīng)用普遍。結(jié)合彈性壓力傳感器工作機(jī)制的不同，主要可以分為壓阻式、電容式和壓電式等幾種類型。壓阻式彈性壓力傳感器利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成。當(dāng)受到壓力作用時，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使得直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻發(fā)生變化，從而將被測壓力轉(zhuǎn)換為電信號。這種傳感器具有靈敏度高、精度高等優(yōu)點(diǎn)，在需要高精度測量的場合中發(fā)揮著重要作用。然而，它易受溫度影響，因此在應(yīng)用過程中需要采取溫度補(bǔ)償措施以確保測量準(zhǔn)確性。

壓阻式、電容式和壓電式彈性壓力傳感器是常用的型號。壓阻式傳感器利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)，具有靈敏度高、精度高等優(yōu)點(diǎn)，但易受溫度影響。電容式傳感器則通過測量被測物體受壓時產(chǎn)生的微小形變來改變電容量，具有精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。而壓電式傳感器基于壓電效應(yīng)原理工作，靈敏度高、響應(yīng)速度快，但通常需要特殊的壓電材料，成本較高。這些不同類型的彈性壓力傳感器各有優(yōu)缺點(diǎn)，在選擇時需要根據(jù)實(shí)際需求和預(yù)算進(jìn)行權(quán)衡，以確保所選傳感器能夠提供準(zhǔn)確、可靠的測量結(jié)果。