氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開(kāi)展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計(jì)量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對(duì)于以開(kāi)展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級(jí)有所欠缺的省市和企業(yè)級(jí)別的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室建議以相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對(duì)裝置，該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低等特點(diǎn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因?yàn)樵搩x器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率范圍可滿(mǎn)足不同檢測(cè)需求 。浙江可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力

差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平，它是精確測(cè)量微量物品質(zhì)量的測(cè)量工具。使用者通過(guò)仔細(xì)調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達(dá)到嚴(yán)格平衡，這樣被測(cè)物的質(zhì)量就可通過(guò)砝碼反映出來(lái)。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣，首先我們將相同壓力的氣體同時(shí)充入到被測(cè)物和基準(zhǔn)物內(nèi)，使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等，然后觀(guān)察其平衡情況。若被測(cè)物不漏，那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測(cè)物存在泄漏，那么它內(nèi)部的壓力會(huì)逐漸降低，平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測(cè)出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且，如果發(fā)生泄漏，泄漏率（ml/sec）的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。鹽城氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔接口多大標(biāo)準(zhǔn)漏孔的材質(zhì)選擇影響其使用壽命長(zhǎng)短 。

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋?zhuān)罕疽?guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋?zhuān)号c目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準(zhǔn)規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實(shí)際測(cè)量范圍（1-10）g/a對(duì)應(yīng)。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔，如表所示，鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋?zhuān)和ǔＥ鋫涠鄠€(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線(xiàn)很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說(shuō)明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠(chǎng)家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶(hù)購(gòu)置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購(gòu)置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過(guò)也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶(hù)在選購(gòu)?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶(hù)可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開(kāi)放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用時(shí)需緩慢調(diào)節(jié)壓力避免沖擊 。

滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對(duì)石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類(lèi)型漏孔對(duì)污染不敏感；長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負(fù)5-10負(fù)13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補(bǔ)償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門(mén)為手動(dòng)(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對(duì)于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對(duì)于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類(lèi)推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能驗(yàn)證各類(lèi)檢漏方法的可靠性。冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔

標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率偏差需把控在允許范圍內(nèi) 。浙江可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力

標(biāo)準(zhǔn)漏孔是漏率溯源標(biāo)準(zhǔn)的總稱(chēng)。根據(jù)不同應(yīng)用行業(yè)，不同檢漏儀器類(lèi)型漏孔種類(lèi)繁多，分類(lèi)方式也多種多樣。漏率范圍也從微漏率10-13Pa.m3/s的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔到做泄漏標(biāo)準(zhǔn)用的10NL/min空氣壓差漏孔,范圍寬廣。標(biāo)準(zhǔn)漏孔按照對(duì)應(yīng)檢漏儀種類(lèi)來(lái)分：真空氦漏孔，冷媒正壓漏孔，空氣壓差漏孔等，分別對(duì)應(yīng)氦質(zhì)譜檢漏儀，鹵素（冷媒）檢漏儀，壓差檢漏儀等。按照漏孔元件類(lèi)型可以分為:滲(氦)透型漏孔,通道型漏孔.其中滲透型漏孔主要用于真空氦漏孔,有玻璃,四氟乙烯等材料.通道型漏孔如金屬毛細(xì)管、拉伸的玻璃毛細(xì)管、金屬壓扁管、粉末燒結(jié)和微孔板等.按照漏孔結(jié)構(gòu)和應(yīng)用又可以分為有源漏孔和無(wú)源漏孔.也可以分為定值漏孔和可調(diào)漏孔.所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔種類(lèi)繁多,針對(duì)每個(gè)產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域都要滿(mǎn)足具體的技術(shù)要求和應(yīng)用場(chǎng)景.本公司長(zhǎng)期致力于提供所有檢漏需要的溯源標(biāo)準(zhǔn)(標(biāo)準(zhǔn)漏孔)的解決方案和產(chǎn)品服務(wù).浙江可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔壓力

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