一、氣流流型的設(shè)計,應(yīng)符合下列要求:1氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級的要求??諝鉂崈舳鹊燃壱鬄?~4級時,應(yīng)采用垂直單向流;空氣潔凈度要求為5級時,應(yīng)采用垂直單向流或水平單向流。2空氣潔凈度要求為6~9級時,宜采用非單向流。3潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。4潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。5潔凈室的送風(fēng)量,應(yīng)取下列三項中的值:1)為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量。2)根據(jù)熱、濕負(fù)荷計算確定的送風(fēng)量。3)向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。(一)單向流無塵室/潔凈室(1-5級)1-5級的潔凈室,均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即潔凈室內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣,將室內(nèi)的塵埃粒子以比較快的速度帶走。要實(shí)現(xiàn)“活塞”的效果,高效過濾器需要布滿率在80%以上,才可實(shí)現(xiàn)單向流的氣流組織方式。進(jìn)入生物潔凈室前,人員需要更換鞋子、更衣、淋浴、消毒,物品需要清洗、空氣也需要經(jīng)過過濾和消毒處理。杭州凈化潔凈室
新能源產(chǎn)業(yè)是我國戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,上海中沃的潔凈室為其發(fā)展提供了助力引擎。在太陽能光伏、鋰離子電池等新能源領(lǐng)域,生產(chǎn)環(huán)境對產(chǎn)品質(zhì)量和性能有著重要影響。例如,在太陽能光伏電池的生產(chǎn)過程中,潔凈室可避免灰塵附著在電池表面,提高光電轉(zhuǎn)換效率;在鋰離子電池的生產(chǎn)中,潔凈室能防止雜質(zhì)進(jìn)入電池內(nèi)部,提高電池的安全性和循環(huán)壽命。中沃潔凈室通過提供潔凈、穩(wěn)定的生產(chǎn)環(huán)境,助力新能源企業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量,降低成本,推動我國新能源產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。銅陵鋰電池潔凈室后者則通過整體澆筑形成無縫表面,避免微粒藏匿。
在無塵車間潔凈廠房中一般會根據(jù)具體的集成電路精度、生產(chǎn)廠家要求的精度,常見的分為6個等級,依次是一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級。一級:該級潔凈室主要用于微電子行業(yè)集成電路的制造,集成電路的精度要求為亞微米級。十級:十級的無塵車間潔凈室,常見是用于半導(dǎo)體行業(yè)精度要求在2微米以內(nèi)的車間要求。百級:一般到了百級無塵車間的這個程度,公認(rèn)的是比較常用的一種無塵潔凈室,因此比較重要。但這個不等于是可以代替無菌制造需求的廠房,也不能用于制藥行業(yè)等。只是這種潔凈室更多的用于內(nèi)部物體等植入物的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造以及隔離對受細(xì)菌影響特別敏感的患者的醫(yī)治和護(hù)理養(yǎng)護(hù),如骨髓移植后患者的隔離等。
千級:千級無塵車間在生產(chǎn)較高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的廠家會比較常用,并且在產(chǎn)品檢測、裝配等生產(chǎn)環(huán)節(jié)中也是適用的。萬級:到萬級無塵車間這一級別的,常見是用以液壓設(shè)備以及氣動設(shè)備的裝配,或者有較高工藝要求的食品和飲料加工行業(yè)也會用到。值得說明的一點(diǎn)是,萬級無塵車間在醫(yī)學(xué)相關(guān)工業(yè)生產(chǎn)中也是比較應(yīng)用普遍。十萬級:很多工業(yè)生產(chǎn)中比較常用10萬級無塵潔凈車間,就像生產(chǎn)精度要求極高的生產(chǎn)光學(xué)產(chǎn)品、生產(chǎn)較小部件的大型電子系統(tǒng)的制造、制造液壓產(chǎn)品、制造氣動系統(tǒng)、食品生產(chǎn)、飲生產(chǎn)料、醫(yī)藥生產(chǎn)行業(yè)也會較多的使用這種級別的潔凈室。潔凈室內(nèi)部壓力控制穩(wěn)定,防止外部污染進(jìn)入。
航空航天產(chǎn)品對可靠性的要求極高,中沃潔凈室為其提供了可靠的環(huán)境保障。在航空航天設(shè)備的制造和裝配過程中,哪怕是微小的塵?;螂s質(zhì),都可能影響設(shè)備的性能和安全性。例如,衛(wèi)星的電子元件、太陽能電池板等,在潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)和檢測,能確保其在極端的空間環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。潔凈室還能模擬太空的真空、低溫等環(huán)境條件,對航空航天產(chǎn)品進(jìn)行、的測試和驗(yàn)證,為我國的航天事業(yè)發(fā)展提供堅實(shí)的技術(shù)支持。隨著汽車智能化、電動化的發(fā)展,汽車電子產(chǎn)品的質(zhì)量至關(guān)重要。上海中沃的潔凈室為汽車電子產(chǎn)業(yè)提供了高質(zhì)量的生產(chǎn)環(huán)境。汽車電子元件,如發(fā)動機(jī)控制單元、車載傳感器等,對環(huán)境潔凈度要求較高。在潔凈室內(nèi)生產(chǎn),可避免灰塵、濕氣等對電子元件的損害,提高元件的可靠性和穩(wěn)定性。同時,潔凈室還能控制電磁干擾,確保汽車電子系統(tǒng)之間的信號傳輸準(zhǔn)確無誤,提升汽車的整體性能和安全性,推動我國汽車產(chǎn)業(yè)向智能化轉(zhuǎn)型升級。
不論外在環(huán)境條件如何變化,潔凈室內(nèi)均能維持設(shè)定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。黃山潔凈室廠房
工業(yè)潔凈室的關(guān)鍵部位只要有一點(diǎn)灰塵就可能對產(chǎn)品造成較大的危害。杭州凈化潔凈室
潔凈室在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用半導(dǎo)體制造對潔凈度的要求堪稱嚴(yán)苛,潔凈室是保障芯片良率的設(shè)施。在晶圓加工過程中,光刻、蝕刻、薄膜沉積等工序需在ISO1-3級潔凈室中進(jìn)行,因?yàn)榭諝庵形⒘苯游廴揪A表面,導(dǎo)致電路短路或開路。例如,某12英寸晶圓廠的光刻車間采用ISO1級潔凈室,通過垂直單向流(層流)設(shè)計,使空氣以0.45m/s的速度垂直向動,將微粒攜帶至地面回風(fēng)口;同時,車間內(nèi)所有設(shè)備(如光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī))均采用密閉設(shè)計,避免內(nèi)部機(jī)械運(yùn)動產(chǎn)生微粒外泄。數(shù)據(jù)顯示,在普通環(huán)境中生產(chǎn)的芯片良率30%,而在ISO1級潔凈室中可提升至85%以上。此外,潔凈室還需控制化學(xué)污染物(如氨氣、有機(jī)蒸氣),通過活性炭過濾器與化學(xué)過濾系統(tǒng),將關(guān)鍵工序區(qū)域的化學(xué)污染物濃度控制在ppb(十億分之一)級別,防止對晶圓表面造成化學(xué)腐蝕。杭州凈化潔凈室