上海大載機(jī)電有限公司2025-07-10

隔膜密封設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)：1）實(shí)現(xiàn)零泄漏（＜1×10??mbar·l/s）；2）消除閥桿處的顆粒產(chǎn)生；3）避免潤(rùn)滑油污染高純氣體；4）維護(hù)時(shí)無(wú)需排空系統(tǒng)。此類閥門需滿足SEMI F72標(biāo)準(zhǔn)，表面粗糙度Ra＜0.25μm，且經(jīng)過(guò)三次以上氬氣等離子清洗。

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