半導體光刻車間對AMC(氣態(tài)分子污染物)有什么特殊要求？

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廣東楚嶸建設工程有限公司2025-07-26

控制標準：污染物類型限值酸類(如HF) ≤0.1 ppb 堿類(NH?) ≤1 ppb 有機物 ≤2 ppb 技術方案：化學過濾器(ULPA+活性炭復合) 不銹鋼風管電拋光(RA≤0.5μm)

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簡介：廣東楚嶸建設工程有限公司專注于廠房凈化、高效機房和節(jié)能改造，擁有多學科專業(yè)團隊，提供EPC總承包服務

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