系統(tǒng)采用DSP系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)采集、自動(dòng)增益控制、實(shí)時(shí)門限報(bào)警、傳動(dòng)設(shè)備控制等問題; 采用標(biāo)準(zhǔn)的工控機(jī),是吸收了虛擬儀器的思想,以便實(shí)現(xiàn)多通道的智能化管理,以及波形顯示、數(shù)據(jù)分析、用戶可視化操作、探傷報(bào)告打印。主從機(jī)之間通過PC機(jī)并口和DSP主機(jī)接口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸。 [2]模擬部分DAUTD的模擬部分包括超聲波收發(fā)電路、數(shù)控放大/衰減器、可控模擬濾波器陣列。超聲波收發(fā)電路采用600V、400V負(fù)脈沖激勵(lì); 增益控制電路由一級固定20dB 放大, 二級壓控放大器提供- 20~ + 60dB 的衰減和放大, 則整個(gè)系統(tǒng)增益設(shè)計(jì)為80dB, **小步進(jìn)0. 1dB; 可控濾波器設(shè)定為多種寬帶濾波模式, 如0~ 15M Hz、2~ 20M Hz 等, 比較高工作頻段為20M Hz。 [2成像:按材質(zhì)特性配置光源參數(shù).虎丘區(qū)整套自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
聲參量自動(dòng)判讀、實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)波形顯示;接收靈敏度高(對微弱信號識(shí)別能力高,可準(zhǔn)確檢測缺陷大小和范圍);體積小、重量輕、攜帶方便、雙通道、可擴(kuò)展性強(qiáng);大容量充電電池――持久續(xù)集航,檢測無憂;智能處理軟件――實(shí)用、方便、功能強(qiáng)大;技術(shù)指標(biāo):自動(dòng)測樁系統(tǒng)主要用于跨孔聲波透射法樁身完整性的自動(dòng)檢測,其他功能與超聲檢測儀完全相同。超聲透射法基樁、連續(xù)墻完整性快速檢測;超聲-回彈綜合法檢測混凝土抗壓強(qiáng)度;超聲法檢測混凝土裂縫深度、不密實(shí)區(qū)域及蜂窩空洞、結(jié)合面質(zhì)量、表面損傷層厚度、鋼管混凝土內(nèi)部缺陷;超聲法單孔一發(fā)雙收測井;耐火材料質(zhì)量檢測;地質(zhì)勘查、巖體、混凝土等非金屬材料力學(xué)性能檢測。常熟一體化自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備銷售電話這個(gè)位置的檢查直接地支持過程跟蹤和特征化。
在優(yōu)化階段,在這方面花時(shí)間的原因是為了不讓任何缺陷溜過去。所有已知的缺陷都必須檢查,同時(shí)要把允許出現(xiàn)的誤報(bào)數(shù)量做到**小。在針對減少誤報(bào)而對任何程序進(jìn)行調(diào)整時(shí),要檢查一下,看看以前檢查出來的真正缺陷,是否得到維修站的證實(shí)。通過綜合的核實(shí),保證檢查程序的質(zhì)量,用于專門的制造和核查,同時(shí)對誤報(bào)進(jìn)行追蹤。無鉛和檢測工藝適應(yīng)性程序沒有發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)到無鉛會(huì)對焊點(diǎn)質(zhì)量的檢查帶來什么影響。缺陷看上去還是一樣的。毫無疑問,只需要稍微修改一下數(shù)據(jù)庫,就足以排除其他誤報(bào)可能會(huì)帶來的影響。
缺陷類型:微粒缺陷(如異物污染)圖形缺陷(如光刻圖案偏移) [1-3]2.檢測精度:可實(shí)現(xiàn)0.2微米級缺陷的識(shí)別,滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量:每小時(shí)處理20片300毫米晶圓(基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)) [1] [3]適用工藝:45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測,覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟,確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號設(shè)備(截至2020年),同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。這是一個(gè)典型地放置檢查機(jī)器的位置,因?yàn)檫@里可發(fā)現(xiàn)來自錫膏印刷以及機(jī)器貼放的大多數(shù)缺陷。
作為慣例,在生產(chǎn)中,測試系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)根據(jù)生產(chǎn)批量的要 求建立并優(yōu)化。實(shí)際運(yùn)作中無數(shù)次地證明,*這樣做是遠(yuǎn) 遠(yuǎn)不夠的。如果在兩周的生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)要測試一個(gè)新批次的 PCB,有可能會(huì)發(fā)生這樣的情況:ELKO的顏色突然由黑色 變?yōu)榱它S色,或者晶體管的引腳變短了、是彎的;或是電阻的顏色由黃色變成了藍(lán)色的,等等。AOI檢查程序必須而且能夠處理這些不同的變化所帶來 的問題。但是,其中的一些變化需要花費(fèi)時(shí)間進(jìn)行處理, 因?yàn)槲覀儾荒茴A(yù)先知道是否有一種新的元器件被使用,或 是存在一個(gè)錯(cuò)誤的元器件布局。同時(shí),面對質(zhì)量方面的困 難,大量允許的可能出現(xiàn)的情況也需要一個(gè)一致的,確實(shí) 可行的說明。焊錫不足可能是元件丟失或焊點(diǎn)開路的一個(gè)原因。吳中區(qū)附近自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
這個(gè)階段的定量過程控制數(shù)據(jù)包括,印刷偏移和焊錫量信息,而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會(huì)產(chǎn)生?;⑶饏^(qū)整套自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
自動(dòng)探傷系統(tǒng)是利用超聲波探傷技術(shù),滿足用戶對探傷的實(shí)時(shí)性要求,并實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)報(bào)警、 缺陷定位和當(dāng)量計(jì)算的探測系統(tǒng)。超聲波探傷技術(shù)在無損檢測領(lǐng)域中占有極其重要的地位。 近年來, 計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)、 高速數(shù)字信號處理技術(shù)、 虛擬儀器技術(shù)的發(fā)展, 使無損檢測技術(shù)在數(shù)據(jù)處理手段、 儀器檢測性能、 設(shè)備系統(tǒng)化和智能化程度方面取得了巨大進(jìn)步。 [1] 目前已經(jīng)誕生了多種數(shù)字化便攜式探傷儀 , 然而自動(dòng)化超聲波探傷系統(tǒng)仍以多通道模擬方式為主自動(dòng)探傷系統(tǒng)中,基于嵌入式DSP 子系統(tǒng)可以滿足用戶對探傷的實(shí)時(shí)性要求, 實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)報(bào)警、 缺陷定位和當(dāng)量計(jì)算; 另一方面, 利用PC 機(jī)強(qiáng)大的處理能力和豐富的資源, 完成對缺陷回波信號的后續(xù)處理。 [2]虎丘區(qū)整套自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
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