低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)管式爐在氮化硅(Si?N?)薄膜制備中展現(xiàn)出出色的均勻性和致密性,工藝溫度700℃-900℃,壓力10-100...
管式爐在氧化擴(kuò)散、薄膜沉積等關(guān)鍵工藝中,需要實現(xiàn)納米級精度的溫度控制。通過采用新型的溫度控制算法和更先進(jìn)的溫度傳感器,管式爐能夠?qū)囟染忍?..
氣氛控制在半導(dǎo)體管式爐應(yīng)用中至關(guān)重要。不同的半導(dǎo)體材料生長與工藝需要特定氣氛環(huán)境,以防止氧化或引入雜質(zhì)。管式爐支持多種氣體的精確配比與流量控...
隨著物聯(lián)網(wǎng)與大數(shù)據(jù)技術(shù)的發(fā)展,管式爐在半導(dǎo)體領(lǐng)域正邁向智能化。未來的管式爐有望集成先進(jìn)傳感器,實現(xiàn)對爐內(nèi)溫度、氣氛、壓力等參數(shù)的實時監(jiān)測與數(shù)...
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司于2021年9月由原青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司重組,引入新的投資而改制設(shè)立的。公司位于無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),注冊資本6521.74萬元,是一家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備和光伏電池設(shè)備的裝備制造企業(yè)。 公司主要產(chǎn)品有:半導(dǎo)體工藝設(shè)備、硅基集成電路和器件工藝設(shè)備、LED工藝設(shè)備、碳化硅、氮化鎵工藝設(shè)備、納米、磁性材料工藝設(shè)備、航空航天工藝設(shè)備等。并可根據(jù)用戶需求提供定制化的設(shè)備和工藝解決方案。公司秉承“助產(chǎn)業(yè)發(fā)展,創(chuàng)美好未來”的使命,專精于半導(dǎo)體智能裝備的研發(fā)制造,致力于成為半導(dǎo)體裝備的重要品牌?!百|(zhì)量、誠信、創(chuàng)新、服務(wù)、共贏”是我們的重要價值觀,我們將始終堅持“質(zhì)量是企業(yè)的生命,誠信是立足的根本,服務(wù)是發(fā)展的保障,不斷創(chuàng)新是賽瑞達(dá)永恒的追求”的經(jīng)營理念,持續(xù)經(jīng)營,為廣大客戶創(chuàng)造價值,和員工共同發(fā)展。