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氣浮光學(xué)平臺(tái)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-05

光學(xué)平臺(tái)或面包板很重要的特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的,因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大,從而將振動(dòng)強(qiáng)度至小化。平臺(tái)和面包板會(huì)在一個(gè)特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動(dòng)。為了改善性能,每種尺寸的平臺(tái)和面包板的阻尼效果都需要進(jìn)行優(yōu)化。平臺(tái)阻尼需要進(jìn)行各種測(cè)試,對(duì)其厚度/面積的比值進(jìn)行優(yōu)化。更大面積的平臺(tái)(邊長(zhǎng)至少為10英尺或3米)具有厚度為12.2英(310毫米)的標(biāo)準(zhǔn)厚度,這樣可以提高穩(wěn)定性。對(duì)于更小面積的平臺(tái),厚度可以是8.3英寸(210毫米)或12.2英寸(310毫米),也可定制更大尺寸。光學(xué)面包板、阻尼隔振平臺(tái)、氣浮隔振平臺(tái)三大系列產(chǎn)品。氣浮光學(xué)平臺(tái)

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光學(xué)平臺(tái)的磨削是有極限的,這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個(gè)平面度,同大理石平臺(tái)的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺(tái)根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為:000級(jí)(平面度≤3μm/m2)、00級(jí)(平面度≤5μm/m2)、0級(jí)(平面度≤10μm/m2)。換句話說(shuō),平面度合適的光學(xué)平臺(tái),同低等級(jí)的大理石平臺(tái)相比,平面度還差數(shù)倍甚至一個(gè)數(shù)量級(jí),所以若您需要高平面度的臺(tái)面,強(qiáng)烈建議您選購(gòu)大理石平臺(tái)。江蘇科研級(jí)光學(xué)平臺(tái)儀器在動(dòng)態(tài)變化力(振動(dòng))的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯(cuò)位)與振動(dòng)力振幅的比值。

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光學(xué)平臺(tái)測(cè)量方法:使用脈沖錘對(duì)平臺(tái)或面包板的表面施加一個(gè)已測(cè)量的外力,并將一個(gè)傳感器貼合在平臺(tái)或面包板表面對(duì)合成振動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。探測(cè)器發(fā)出的信號(hào)通過(guò)分析儀進(jìn)行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺(tái)的研發(fā)過(guò)程中,對(duì)平臺(tái)表面上很多點(diǎn)的柔量曲線進(jìn)行記錄;但是,平臺(tái)四個(gè)角上的柔量往往都是特別大的。因此公司發(fā)布的柔量曲線和數(shù)據(jù)都是通過(guò)平傳感器在臺(tái)四個(gè)角上測(cè)得的,因此說(shuō)明了在很不理想情況下的數(shù)據(jù)結(jié)果。

理想的剛性體是不存在的。現(xiàn)實(shí)中的系統(tǒng)只能近似的認(rèn)為是剛性的,因此,其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源,系統(tǒng)的重量,光學(xué)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)等等。為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,我們可以從以下的幾個(gè)方面來(lái)著手。外界的振源來(lái)源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響大的是各種低頻的振源,主要集中在10~100Hz頻率內(nèi)。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。光學(xué)平臺(tái)光路的穩(wěn)定性主要受桌面長(zhǎng)軸方向上點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)影響。

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振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間是某一點(diǎn)上開(kāi)始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的很短時(shí)間。若要縮短光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間,通常有兩個(gè)辦法:增大彈簧的彈性系數(shù)k。對(duì)于阻尼隔振平臺(tái),可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料;對(duì)于充氣平臺(tái),可以適度增加空氣壓力;控制光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下,臺(tái)面質(zhì)量越輕,振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間越短,使用效果就越好。勤確的光學(xué)平臺(tái),采用優(yōu)良鐵磁不銹鋼,上臺(tái)面鋼板厚度為4~6mm,在確保系統(tǒng)剛性的前提下,整體重量適中,可充分發(fā)揮出平臺(tái)優(yōu)良的隔振性能。削減光學(xué)平臺(tái)這些振動(dòng)的佳方案是在來(lái)源處即行隔絕。江蘇科研級(jí)光學(xué)平臺(tái)儀器

氣浮式平臺(tái)的重復(fù)定位精度一般為亞毫米量級(jí)。氣浮光學(xué)平臺(tái)

由于光線模擬圖像可以輸出是多點(diǎn)的光路模擬圖像,通過(guò)不同參數(shù)的選擇,可以得到多點(diǎn)的路徑路徑和其他光學(xué)參數(shù),如圓形光斑矩陣、圖像方向角等。實(shí)際上從實(shí)踐中,從精密設(shè)計(jì)所用的dem單片機(jī)出發(fā),還應(yīng)該加裝設(shè)備和驅(qū)動(dòng)電路,這也是為了精密檢測(cè)中如何更精確的檢測(cè)不同類型光路設(shè)備的不同參數(shù),光學(xué)儀器的精密光路組態(tài)設(shè)計(jì)如此復(fù)雜,需要良好的光學(xué)設(shè)計(jì)光路原理以及數(shù)據(jù)分析知識(shí)和經(jīng)驗(yàn),還有一些積累。比如說(shuō),在精密光學(xué)平臺(tái)上對(duì)反射光的處理要在光路中檢測(cè)對(duì)象的反射角度,檢測(cè)不同光波波段光路中的反射率,用電學(xué)透鏡圖片來(lái)處理多光線路徑的不同光路,建立角度矩陣、波長(zhǎng)矩陣、光源矩陣等,確定光路系統(tǒng)中不同光路的光學(xué)模型。氣浮光學(xué)平臺(tái)