鋰電池拆解過程易產(chǎn)生粉塵污染，對無塵車間的粉塵控制要求極高。設(shè)計的無塵車間，采用了先進的下吸式集塵裝置和防爆型真空吸塵器，將粉塵濃度控制在1mg/m3以下。同時，楚嶸公司還注重環(huán)保處理，對收集的粉塵進行專業(yè)處理，確保符合環(huán)保要求。車間內(nèi)還設(shè)置了氣體檢測儀和緊急排風(fēng)系統(tǒng)，確保拆解過程的安全性和環(huán)保性。光刻工序?qū)o塵車間的潔凈度要求極高，直接影響光刻精度。設(shè)計的半導(dǎo)體光刻無塵車間，采用了先進的空氣凈化系統(tǒng)和化學(xué)過濾機組，對0.1μm顆粒過濾效率達(dá)99.9995%。在光刻機臺周圍，楚嶸公司設(shè)置了單獨的百級潔凈罩，通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境，確保了光刻膠涂布與曝光過程的潔凈度。同時，車間內(nèi)還配備了在線監(jiān)測系統(tǒng)，實時監(jiān)測潔凈度等關(guān)鍵參數(shù)，確保光刻精度的穩(wěn)定性。醫(yī)藥無菌制劑無塵車間，浮游菌≤1CFU/m3，確保產(chǎn)品無菌性。浙江精密儀器無塵車間建設(shè)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)和光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域越來越寬。例如，在光電子器件、光通信器件等領(lǐng)域中，半導(dǎo)體和光學(xué)器件的集成度越來越高。這些交叉領(lǐng)域?qū)o塵車間的需求也日益增長。無塵車間在半導(dǎo)體與光學(xué)器件交叉領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個方面：一是提供潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，滿足半導(dǎo)體和光學(xué)器件制造的高潔凈度要求；二是提供穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境，確保半導(dǎo)體和光學(xué)器件的性能和穩(wěn)定性；三是有效控制靜電和電磁干擾，避免對精密制造和測試設(shè)備造成影響。通過無塵車間的應(yīng)用，半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域可以實現(xiàn)更高的制造精度和更可靠的器件性能。浙江PC無塵車間服務(wù)食品包裝無塵車間采用臭氧消毒，細(xì)菌殺滅率達(dá)99.9%，延長保質(zhì)期。

在決定國家科技命脈的半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)，無塵車間的重要性被提升至無以復(fù)加的高度。想象一下，當(dāng)工程師們在硅片上蝕刻比發(fā)絲細(xì)千倍的電路時，一粒微不足道的塵埃落于其上，便足以摧毀整片價值高昂的晶圓，讓數(shù)周的精密努力化為泡影。因此，高標(biāo)準(zhǔn)芯片工廠（如制造3納米、5納米制程芯片）通常要求達(dá)到ISO 1級或2級的潔凈度——這意味著一立方米空氣中大于0.1微米的粒子甚至不能超過十個。為實現(xiàn)此近乎苛刻的標(biāo)準(zhǔn)，車間采用造價高昂的垂直單向?qū)恿飨到y(tǒng)，空氣如瀑布般均勻穩(wěn)定地從天花板高效過濾器（ULPA級別）傾瀉而下，再經(jīng)由高架地板被抽走，形成持續(xù)“沖洗”效應(yīng)。工程師們身著包裹全身、特殊材質(zhì)制成的“兔寶寶”服，經(jīng)過多重氣閘室嚴(yán)格除塵，方能在靜默的微光環(huán)境中，操縱價值數(shù)千萬美元的曝光機臺。在這里，空氣的純凈度直接關(guān)聯(lián)著芯片的良品率與性能極限，一絲塵埃即可能導(dǎo)致價值數(shù)千萬美元的損失，無塵車間因此成為高標(biāo)準(zhǔn)芯片得以穩(wěn)定誕生的前提。

設(shè)置單獨防爆墻，采用A級防火材料。分容柜配置熱電偶陣列，實時監(jiān)測電芯溫度梯度。當(dāng)溫差超過5℃時自動啟動冷卻系統(tǒng)，通過液冷板將電芯溫度控制在25±2℃范圍。采用化學(xué)過濾機組與FFU機組組合方案，對0.1μm顆粒過濾效率達(dá)99.9995%。光刻機臺設(shè)置單獨百級潔凈罩，通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境。配置自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS），減少人員干預(yù)。設(shè)置單獨除濕系統(tǒng)，將濕度控制在35±5%RH范圍。膠合臺配置顯微鏡，通過圖像處理系統(tǒng)實時檢測膠層厚度。采用UV固化燈時，設(shè)置單獨排風(fēng)系統(tǒng)，將臭氧濃度控制在0.1ppm以下。醫(yī)藥生物培養(yǎng)無塵車間，CO?濃度控制±0.2%，細(xì)胞活性提高。

無塵車間天花板處理與地面、墻面處理有何不同？天花板處理與地面、墻面處理有一定差異。在去除舊天花板、清潔和修補方面，與地面、墻面類似，都要保證其平整、無裂縫和雜物。但天花板處理還需特別考慮承重和防火性能。由于天花板上方可能安裝有各類管道、設(shè)備，所以在選擇天花板材料時，要確保其能承受一定重量。例如在一些大型電子制造無塵車間，會選用輕質(zhì)且強度的金屬天花板。同時，為滿足消防安全要求，天花板材料要具備良好的防火性能。在安裝天花板時，要注意與燈具、風(fēng)口等設(shè)備的配合，保證安裝牢固，密封良好，避免灰塵從天花板縫隙進入車間。光學(xué)元件膠合在無塵車間完成，透光率損失≤0.5%，成像清晰。浙江PC無塵車間服務(wù)

楚嶸無塵車間，通過CFD模擬優(yōu)化氣流，提升潔凈度均勻性。浙江精密儀器無塵車間建設(shè)

千級無塵車間對塵埃粒子有嚴(yán)格數(shù)量控制。塵埃粒子大于或等于0.2微米的數(shù)量不超過237000個，大于或等于0.3微米的微塵數(shù)量不超過102000個，大于或等于0.5微米的塵埃數(shù)量不超過35200個，大于或等于1微米的塵埃數(shù)量不超過8320個，大于或等于5微米的微塵數(shù)量不超過293個。這些標(biāo)準(zhǔn)確保車間內(nèi)空氣潔凈度達(dá)到極高水平，滿足高質(zhì)量生產(chǎn)需求。千級無塵車間不僅對塵埃粒子有嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)，對微生物數(shù)量也有明確控制。每立方米內(nèi)的浮游菌數(shù)量控制在5到100個之間，沉降菌數(shù)量控制在1 - 3個以內(nèi)。通過嚴(yán)格的微生物數(shù)量控制，有效防止產(chǎn)品受到微生物污染，保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全性。千級無塵車間對溫濕度有精確控制要求。溫度冬季20 - 22℃；夏季24 - 26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30 - 50%，夏季潔凈室濕度控制在50% - 70%。合適的溫濕度環(huán)境有助于維持車間內(nèi)設(shè)備的穩(wěn)定運行，保證生產(chǎn)過程的順利進行，同時也有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量。浙江精密儀器無塵車間建設(shè)