中清航科在切割頭集成聲波傳感器，通過頻譜分析實時識別崩邊、裂紋等缺陷（靈敏度1μm）。異常事件觸發(fā)自動停機，避免批量損失，每年減少廢片成本$2.5M。為提升CIS有效感光面積，中清航科將切割道壓縮至8μm：激光隱形切割（SD）配合智能擴膜系統(tǒng)，崩邊<3μm，使1/1.28英寸傳感器邊框縮減40%，暗電流降低至0.12nA/cm。中清航科金剛石刀片再生技術：通過等離子體刻蝕去除表層磨損層，重新鍍覆納米金剛石顆粒。再生刀片壽命達新品90%，成本降低65%，已服務全球1200家客戶。
在晶圓切割的產(chǎn)能規(guī)劃方面，中清航科為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)能評估服務。通過產(chǎn)能模擬軟件，根據(jù)客戶的晶圓規(guī)格、日產(chǎn)量需求、設備利用率等參數(shù)，精確計算所需設備數(shù)量與配置方案，并提供投資回報分析，幫助客戶優(yōu)化設備采購決策，避免產(chǎn)能過剩或不足的問題。針對晶圓切割過程中可能出現(xiàn)的異常情況，中清航科開發(fā)了智能應急處理系統(tǒng)。設備可自動識別切割偏差過大、晶圓破裂等異常狀態(tài)，并根據(jù)預設方案采取緊急停機、廢料處理等措施，同時自動保存異常發(fā)生前的工藝數(shù)據(jù)，為后續(xù)問題分析提供依據(jù)，比較大限度減少損失。無錫sic晶圓切割企業(yè)中清航科推出晶圓切割應力模擬軟件，提前預判崩邊風險。
在晶圓切割的質(zhì)量檢測方面，中清航科引入了三維形貌檢測技術。通過高分辨率 confocal 顯微鏡對切割面進行三維掃描，生成精確的表面粗糙度與輪廓數(shù)據(jù)，粗糙度測量精度可達 0.1nm，為工藝優(yōu)化提供量化依據(jù)。該檢測結(jié)果可直接與客戶的質(zhì)量系統(tǒng)對接，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的無縫流轉(zhuǎn)。針對晶圓切割過程中的熱變形問題，中清航科開發(fā)了恒溫控制切割艙。通過高精度溫度傳感器與 PID 溫控系統(tǒng)，將切割艙內(nèi)的溫度波動控制在 ±0.1℃以內(nèi)，同時采用熱誤差補償算法，實時修正溫度變化引起的機械變形，確保在不同環(huán)境溫度下的切割精度穩(wěn)定一致。
針對小批量多品種的研發(fā)型生產(chǎn)需求，中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設計的切割設備可在 30 分鐘內(nèi)完成不同規(guī)格晶圓的換型調(diào)整，配合云端工藝數(shù)據(jù)庫，存儲超過 1000 種標準工藝參數(shù)，工程師可快速調(diào)用并微調(diào)，大幅縮短新產(chǎn)品導入周期，為科研機構與初創(chuàng)企業(yè)提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測環(huán)節(jié)直接關系到后續(xù)封裝的質(zhì)量。中清航科將 AI 視覺檢測技術與切割設備深度融合，通過深度學習算法自動識別切割面的微裂紋、缺口等缺陷，檢測精度達 0.5μm，檢測速度提升至每秒 300 個 Die，實現(xiàn)切割與檢測的一體化流程，避免不良品流入下道工序造成的浪費。中清航科多軸聯(lián)動切割頭，適應曲面晶圓±15°傾角加工。
當晶圓切割面臨復雜圖形切割需求時，中清航科的矢量切割技術展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢。該技術可精確識別任意復雜切割路徑，包括圓弧、曲線及異形圖案，通過分段速度調(diào)節(jié)確保每一段切割的平滑過渡，切割軌跡誤差控制在 2μm 以內(nèi)。目前已成功應用于光電子芯片的精密切割，為 AR/VR 設備中心器件生產(chǎn)提供有力支持。半導體生產(chǎn)車間的設備協(xié)同運作對通信兼容性要求極高，中清航科的晶圓切割設備多方面支持 OPC UA 通信協(xié)議，可與主流 MES 系統(tǒng)實現(xiàn)實時數(shù)據(jù)交互。通過標準化數(shù)據(jù)接口，將切割進度、設備狀態(tài)、質(zhì)量數(shù)據(jù)等信息實時上傳至管理平臺，助力客戶實現(xiàn)生產(chǎn)過程的數(shù)字化管控與智能決策。8小時連續(xù)切割驗證：中清航科設備溫度波動≤±0.5℃。泰州碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠
中清航科切割實驗室開放合作，已助力30家企業(yè)工藝升級。泰州碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠
在碳化硅晶圓切割領域，由于材料硬度高達莫氏 9 級，傳統(tǒng)切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創(chuàng)新采用超高壓水射流與激光復合切割技術，利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產(chǎn)生的熱影響區(qū)，同時借助激光的預熱作用降低材料強度，使碳化硅晶圓的切割效率提升 3 倍，熱影響區(qū)控制在 10μm 以內(nèi)。晶圓切割設備的可靠性是大規(guī)模生產(chǎn)的基礎保障。中清航科對中心部件進行嚴格的可靠性測試，其中激光振蕩器經(jīng)過 10 萬小時連續(xù)運行驗證，機械導軌的壽命測試達到 200 萬次往復運動無故障。設備平均無故障時間（MTBF）突破 1000 小時，遠超行業(yè) 800 小時的平均水平，為客戶提供穩(wěn)定可靠的生產(chǎn)保障。泰州碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠
